无存储模块的湿度传感器芯片

申请号

CN202110531383.5

转化方式

技术转让

申请日

2020.01.07

公开(公告)日

2022.04.05

当前专利权人

北京广源嘉瑞科技有限公司

发明（设计）人

尹海宏;施天宇;王志亮;宋长青;印川;赵晨媛

摘要

　　本发明揭示了一种无存储模块的湿度传感器芯片，该湿度传感器芯片包括湿度敏感模块、测量电路模块、微处理单元MCU；湿度敏感模块包括湿度敏感材料、衬底、第一电极、第二电极和第三电极；湿度敏感材料、衬底、第一电极、第二电极和第三电极构成三电极结构的湿度敏感型电容‑‑电阻复合结构；第一电极、湿度敏感材料、第二电极构成湿度敏感电阻（湿敏电阻）结构，湿度敏感材料作为湿度敏感电阻（湿敏电阻）的湿度敏感材料；所述衬底是具备压电效应的晶体材料。